| 发明名称 | 气体过滤装置 | ||
| 摘要 | 一种气体过滤装置，包括： 腔室和位于所述腔室中的复数个过滤网；所述腔室具有进气孔和出气孔；所述复数个过滤网沿进气孔到出气孔方向间隔排列；所述过滤网具有过滤孔；所述沿进气孔到出气孔方向间隔排列的各个过滤网的过虑孔的面积沿进气孔到出气孔的方向逐渐减小。该过滤装置的过滤网不易被结晶物堵塞，能够减少清洁次数，提高使用效率。 | ||
| 申请公布号 | CN101138693B | 申请公布日期 | 2010.10.13 |
| 申请号 | CN200610030808.X | 申请日期 | 2006.09.04 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 唐正隆;马成伟 |
| 分类号 | B01D46/12(2006.01)I | 主分类号 | B01D46/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 逯长明 |
| 主权项 | 一种气体过滤装置，包括：腔室(201)和位于所述腔室(201)中的复数个过滤网(206)；所述腔室(201)具有进气孔(202)和出气孔(204)；所述复数个过滤网(206)沿进气孔(202)到出气孔(204)方向间隔排列；所述过滤网(206)具有过滤孔(207)；其特征在于：所述过滤网(206)为圆锥形或棱锥形，所述沿进气孔(202)到出气孔(204)方向间隔排列的各个过滤网(206)的过滤孔的面积沿进气孔(202)到出气孔(204)的方向逐渐减小。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 | ||