高精度压力传感器信号补偿方法

摘要

本发明公开了一种高精度压力传感器信号补偿方法，将压力传感器测量得到的压力测量信号和温度测量信号输入到数字信号处理器中；在数字信号处理器中，通过迟滞误差补偿方法将原始压力信号转化为：未经温度补偿、但消除迟滞误差的压力信号；通过信号接口处理方法，对上述压力信号进行温度校正，得到经过温度校正后的压力信号；通过温度补偿方法，由经过温度校正的压力信号和温度信号处理得到经过温度补偿和非线性误差补偿的压力信号和温度信号。本发明能够补偿压力传感器的迟滞误差、非线性误差和环境温度变化产生的误差，提高压力传感器的测量精度。

主权项

一种高精度压力传感器信号补偿方法，其特征在于，按照如下步骤：(1)硅压力传感器测量得到压力测量信号Vp和温度测量信号Vt；压力测量信号Vp依次经信号放大电路和A/D转换电路后进入DSP数据采集补偿电路；温度测量信号Vt经A/D转换电路后进入DSP数据采集补偿电路；(2)在DSP数据采集补偿电路中，采用迟滞误差补偿方法将压力测量信号Vp转化为消除迟滞误差的压力值P’；(3)在DSP数据采集补偿电路中，采用信号接口处理方法对压力值P’进行温度校正，得到经过温度校正后的压力信号Vpm；(4)在DSP数据采集补偿电路中，采用温度补偿方法，由经过温度校正的压力信号Vpm和温度信号Vt得到经过温度补偿和非线性误差补偿的压力信号P和温度信号T。