一种调整参考单元阈值参数的方法、装置和一种测试系统

摘要

本发明提供了一种调整参考单元阈值参数的方法，用在多个存储器芯片的并行测试过程中，包括以下步骤：对测试机台上的所有待测试芯片的参考单元进行擦除操作；测量各个待测试芯片的参考单元的电流，如果符合第一预置条件，则进入下一步骤，否则，重新进行擦除操作；对各个待测试芯片的参考单元进行编程操作；如果某个被编程的参考单元的电流符合第二预置条件，则该参考单元调整完毕，将该芯片与测试机台断开；对未断开的待测试芯片继续执行编程操作，直至所有的待测试芯片都断开。由于本发明能真正实现并测，因此机台的整体测试时间被大大缩短，大大降低了测试成本。

主权项

一种调整参考单元阈值参数的方法，其特征在于，用在多个存储器芯片的并行测试过程中，包括以下步骤：对测试机台上的所有待测试芯片的参考单元进行擦除操作；测量各个待测试芯片的参考单元的电流，如果符合第一预置条件，则进入下一步骤，否则，重新进行擦除操作；对各个待测试芯片的参考单元进行编程操作；如果某个被编程的参考单元的电流符合第二预置条件，则该参考单元调整完毕，将该芯片与测试机台断开；对未断开的待测试芯片继续执行编程操作，直至所有的待测试芯片都断开。