发明名称 等离子体显示屏的制造方法以及基板保持件
摘要 本发明是在对于等离子体显示屏的基板的成膜中,能够抑制对膜质产生不良影响的成膜装置内部的灰尘发生的等离子体显示屏的制造方法及其基板保持件。通过具有由从下方支撑的支撑单元和限制基板(3)的面方向位置的限制单元构成的保持单元的框体所组成的第1基板保持件(3)以及保持第1基板保持件(31)的第2基板保持件(32),在保持基板(3)和虚拟基板(35)的同时进行成膜。
申请公布号 CN101471216B 申请公布日期 2010.10.13
申请号 CN200810190508.7 申请日期 2004.02.16
申请人 松下电器产业株式会社 发明人 高濑道彦;篠崎淳;古川弘之
分类号 H01J9/20(2006.01)I;H01J9/48(2006.01)I 主分类号 H01J9/20(2006.01)I
代理机构 北京市中咨律师事务所 11247 代理人 陈海红;段承恩
主权项 一种等离子体显示屏的制造方法,该方法把等离子体显示屏的基板保持在基板保持件上进行成膜,其特征在于:上述基板保持件包括:具有从下方支撑上述基板的周边部分的支撑单元和限制上述基板的面方向的位置的限制单元的框体,以及具有从下方支撑虚拟基板的周边部分的支撑单元和限制上述虚拟基板的面方向的位置的限制单元的框体,通过将上述基板及上述虚拟基板分别嵌入到上述框体,并在上述基板及上述虚拟基板分别由上述框体支撑和限制的状态下进行成膜。
地址 日本大阪府