制造用于压电谐振器的声反射镜和制造压电谐振器的方法

摘要

制造包括交迭配置的具有高和低声阻抗层的压电谐振器的反射镜，其中首先制作第一层(106b1，106b2)，在第一层(106b1，106b2)之上制作第二层(106a1，106a2)，由此第二层(106a1，106a2)部分地覆盖第一层(106b1，106b2)。然后，在第一层(106b1，106b2)和第二层(106a1，106a2)之上应用平坦化层(132)。随即，通过构建平坦化层(132)使得第二层(106a1，106a2)的一部分(134)暴露出来，其中此部分与压电谐振器的有源区域(122)相关。最后，通过移除保持在此部分之外的平坦化层(132)的部分(132a，132b)来平坦化最后的结构。

主权项

制造具有交迭配置的高和低声阻抗层的声反射镜(106)的方法，其中所述反射镜包括层序列，此层序列具有至少一个高声阻抗层(106a1，106a2)和至少一个低声阻抗层(106b1，106b2)，包括步骤：(a)制作层序列的第一层(106b1，106b2)；(b)在第一层(106b1，106b2)之上制作层序列的第二层(106a1，106a2)，以使得第二层(106a1，106a2)部分地覆盖第一层(106b1，106b2)；(c)在第一层(106b1，106b2)和第二层(106a1，106a2)之上应用一平坦化层(132)；(d)通过对所述平坦化层(132)进行刻蚀处理而暴露出第二层(106a1，106a2)的一部分(134)，其中第二层(106a1，106a2)的所暴露部分(134)与压电谐振器的有源区域(122)相关，所述刻蚀处理参考所述声反射镜结构最上层的材料而具有选择性，使得所述最上层被作为刻蚀终止层；以及(e)通过去除至少保留在第二层(106a1，106a2)的所暴露部分(134)之外的部分平坦化层(132)来平坦化从步骤(d)中得到的结构，其中，反射镜具有多个第一层(106b1，106b2)和多个第二层(106a1，106a2)，其中此方法包括下列步骤：对每个连续的第一层(106b1，106b2)和第二层(106a1，106a2)重复步骤(a)至(e)。