静电驱动和电容检测型陀螺传感器

摘要

具有振动器和起动电路的陀螺传感器产生振荡激励信号，其通过响应从所述起动电路发送的起动频率的起动信号将第一电压升高到所述信号的电压来实现。所述振动器响应所述振荡激励信号而振动。当所述振动器自激时，所述振动器输出指示所述振动器的振动中的振荡幅度和振荡频率的第一检测信号。所述传感器响应第一检测信号将第一电压升高到第二电压并且产生驱动频率和第二电压的驱动信号。响应所述驱动信号继续所述振动器的自激。所述振动器输出指示加入到所述振动器的偏航角的第二检测信号。所述传感器从第二检测信号产生对应于偏航角的传感器信号。

主权项

一种陀螺传感器，包括：振动器，其有可能自激振动，当所述振动器被设置在自激条件下时，输出指示所述振动器的振动中的振荡电容和振荡频率的第一检测信号，以及输出指示加入到所述振动器的偏航角的第二检测信号；驱动电路，其产生第一电压，根据从所述振动器输出的所述第一检测信号产生控制信号，响应于所述控制信号而将所述第一电压升高到第二电压以根据所述控制信号产生被设置在所述第二电压和驱动频率的驱动信号，并且将所述驱动信号发送到所述振动器以响应于所述驱动信号而继续所述振动器的自激；和偏航角检测电路，其根据所述自激的振动器的第二检测信号产生对应于所述偏航角的传感器信号并且输出所述传感器信号，其中所述传感器还包括起动电路，该起动电路向所述驱动电路提供起动频率的起动信号并且通过将所述第一电压升高到振荡激励信号的电压而使得所述驱动电路响应于所述起动信号而产生所述振荡激励信号，以使响应于所述振荡激励信号而开始所述振动器的自激。