微型电磁式宽频带振动能量采集器

摘要

一种微机电系统技术领域的微型电磁式宽频带振动能量采集器，包括：绝缘衬底、平面螺旋感应线圈、拾振结构和支撑结构，其中：绝缘衬底、平面螺旋感应线圈和拾振结构依次右下而上固定设置，支撑结构位于平面螺旋感应线圈和拾振结构的外侧并与绝缘衬底固定连接。本发明通过多个由弹簧连接的环状永磁体振动模态的叠加实现宽频带能量采集，并利用微结构图形化方法实现永磁体的集成制造，而且由于图形化的永磁体可以有较厚的微结构，因而比电镀永磁体有更好的能量采集和转化效率，与IC工艺相兼容，易于批量化加工。

主权项

一种微型电磁式宽频带振动能量采集器，包括：绝缘衬底、平面螺旋感应线圈、拾振结构和支撑结构，其特征在于：绝缘衬底、平面螺旋感应线圈和拾振结构依次右下而上固定设置，支撑结构位于平面螺旋感应线圈和拾振结构的外侧并与绝缘衬底固定连接。