纳米机械振荡器

摘要

机械振荡器(20)具有尺寸在亚微米范围内的组件以便产生千兆赫兹范围内的共振模式振荡。主元件(21)与较小的、亚微米元件(22)相耦合以便产生大振幅千兆赫兹频率振荡，利用已经可用的技术来检测该振荡。机械结构可以根据包括梁和环的多种几何形状而形成，并且利用与静电、磁和热相关的力，以及给油器激励技术而激励。机械结构可以布置为阵列以用于诸如放大以及混频的应用，并且机械结构对于震动和辐射环境没有电的或者光的对等物那么灵敏。

主权项

一种机械振荡器，包括：主元件，其形成第一振动结构；支架，其与所述主元件相耦合，以悬挂所述主元件从而允许所述主元件振荡；多个小元件，每个小元件与所述主元件相耦合以便形成第二振动结构，每个所述小元件具有亚微米范围内的总的大尺寸；所述主元件和所述多个小元件配置成展示出集体共振模式振荡，其中所述小元件展示出锁相振荡。