发明名称 液滴吐出量测定方法和有机电致发光装置的制造方法
摘要 本发明涉及液滴吐出量测定方法和有机EL装置的制造方法。提供无论溶剂是否蒸发、固体成分的浓度如何,都能够以高精度测量从液滴吐出装置吐出的液滴量的液滴吐出量测定方法,以及利用了该液滴吐出量测定方法的有机EL装置的制造方法。测定从导入了含有固体成分和溶剂的功能液的喷墨方式的液滴吐出装置(2)吐出的功能液的液滴M的量时,吐出功能液的液滴M并使之着落于检测面(11)上之后,使溶剂从液滴M中蒸发而形成固态点D。此时,随着溶剂从液滴M中蒸发,使液滴M堆积收缩,而使固态点D的面积小于液滴M的着落面积。然后,对固态点D进行图像识别来测定固态点D的体积。
申请公布号 CN101858729A 申请公布日期 2010.10.13
申请号 CN201010139913.3 申请日期 2010.03.30
申请人 精工爱普生株式会社 发明人 花冈英孝;北林厚史
分类号 G01B11/00(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I 主分类号 G01B11/00(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 苗堃;金世煜
主权项 一种液滴吐出量测定方法,其特征在于,用于测定从导入了含有固体成分和溶剂的功能液的液滴吐出装置吐出的所述功能液的液滴量,该方法具有如下工序:从所述液滴吐出装置吐出所述功能液的液滴并使之着落于检测面上的吐出工序,在所述检测面上使所述溶剂从所述液滴中蒸发而形成固态点的干燥工序,对所述固态点进行图像识别来测定该固态点的体积的固态点体积测定工序;在所述干燥工序中,随着所述溶剂从所述液滴中蒸发,使该液滴堆积收缩,而使所述固态点的面积小于所述液滴的着落面积。
地址 日本东京都