框架式电容硅微机械加速度计

摘要

本发明公开了一种框架式电容硅微机械加速度计，由上、下两层构成，上层为制作在单晶硅片上的加速度计机械结构，下层为制作在玻璃衬底上的信号引线，加速度计机械结构由框架式质量块、U型支撑梁、固定检测梳齿和止挡块组成，框架式质量块上的活动梳齿与固定检测梳齿组成差分检测电容，框架式质量块上下端分别通过上支撑梁和下支撑梁与上下固定基座相连，两个止挡块分别制作在上下固定基座上，上下固定基座安装在玻璃衬底上的固定基座键合点上，使上层的机械结构部分悬空在下层的玻璃衬底部分之上。本发明框架式质量块降低了交叉轴灵敏度，增加了结构的稳定性。

主权项

一种框架式电容硅微机械加速度计，由上、下两层构成，上层为制作在单晶硅片上的加速度计机械结构，下层为制作在玻璃衬底上的信号引线，其特征在于：加速度计机械结构由框架式质量块(1)、U型支撑梁(2a、2b、2c、2d)、固定检测梳齿(3a、3b、3c、3d、3e、3f)和止挡块(5a、5b)组成，框架式质量块(1)上的活动梳齿与固定检测梳齿(3a、3b、3c、3d、3e、3f)组成差分检测电容，框架式质量块(1)上下端分别通过上支撑梁(2a、2b)和下支撑梁(2c、2d)与上下固定基座(4a、4b)相连，两个止挡块(5a、5b)分别制作在上下固定基座(4a、4b)上，上下固定基座(4a、4b)安装在玻璃衬底上的固定基座键合点上，使上层的机械结构部分悬空在下层的玻璃衬底部分之上。