光源的平面阵列所发射的收敛光线的获得

摘要

提出了用于获得光源(118、120)的平面阵列所发射的收敛光线(123、126)的系统和方法。在一个实施例中，提出了一种成像装置(200)，用于检查半导体或其它物体(116)。成像装置(200)包括用于成像从物体(116)反射的光线的一个或多个成像透镜(112)。成像装置(200)还包括附接到平面电路板(212)的第一光源(118)，以及附接到平面电路板(212)的第二光源(120)。成像装置(200)进一步包括用于指引来自第一光源(118)的光线从第一方向朝向物体(116)的第一菲涅耳棱镜(214)、以及用于指引来自第二光源(120)的光线从第二方向朝向物体的第二菲涅耳棱镜(216)。在一个实施例中，成像装置(300、400)还包括用于提高或降低光线的散度的一个或多个光学元件(310、312、410、412)。

主权项

一种用于检查半导体的成像装置，所述成像装置包括：一个或多个成像透镜，用于成像从物体反射的光线；平面电路板；第一光源，附接到所述平面电路板；第二光源，附接到所述平面电路板；第一菲涅耳棱镜，用于指引来自第一光源的光线从第一方向朝向所述物体；及第二菲涅耳棱镜，用于指引来自第二光源的光线从第二方向朝向所述物体。