具穿透照明的工作台

摘要

本发明提供一种具穿透照明的工作台，其可以通过穿透照明来进行衬底定位，并且可使加工工具按压着进行衬底加工。本发明的具穿透照明的工作台包含：红外光源；金属制的小工作台，其在下部安装着可动机构，并且在上部形成有载置上工作台的工作台载置面；以及上由红外穿透性材料形成的工作台，其具有和所述小工作台的工作台载置面为面接触的底面、载置衬底的上表面、及使所述红外光源的红外光入射的入射侧面；并且在上工作台的内部且载置有衬底的位置下方，设置使从入射侧面入射的红外光朝上表面反射的反射面。

主权项

一种穿透照明用工作台，其特征在于包含：红外光源；金属制的小工作台，其在下部安装着可动机构，并且在上部形成有载置上工作台的工作台载置面；以及由红外穿透性材料形成的上工作台，其具有和所述小工作台的工作台载置面为面接触的底面、以面接触状态载置衬底的整个背面的上表面、及所述红外光源的红外光所入射的入射侧面；并且在所述上工作台的内部且载置有所述衬底的位置下方，设置使从所述入射侧面入射的红外光向上表面反射的反射面，所述红外光穿透构成上工作台的红外穿透性材料而照射到衬底。