薄膜太阳能电池沉积用放电电极板阵列

摘要

本发明公开一种硅基薄膜太阳能电池沉积室用放电电极板阵列，属于太阳能电池技术领域。放电电极板阵列其特征在于信号馈入组件的端面是矩形，腰部呈扁平状对应带屏蔽罩的阴极板背面中心区域内下凹矩形面内馈入口以面接触连接馈入电源信号放电。电极板阵列至少一组阴极板和一块阳极板，两块阴极板共用一块阴极板。效果在于以电极板中心面馈入，克服了一点或多点馈入因馈线距离造成的损耗。以射频/甚高频功率电源驱动可获得均匀电场大面积稳定放电，有效的消除驻波和趋肤效应，使产率提高，成本降低。

主权项

一种薄膜太阳能电池沉积用放电电极板阵列，包括电极板组件、信号馈入组件，其特征在于还包括由带屏蔽罩的电极板组件和信号馈入组件构成的电极板阵列，该电极板阵列至少一组阴极板和一块阳极板，至少一对信号馈入组件，其端面面接触连接电极板组件的馈入口，馈入射频/甚高频功率电源信号至电极板组件的每块阴极板背面的中心区域下凹面内的馈入口。