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发明名称 DIFFERENTIAL NITRIDE PULLBACK TO CREATE DIFFERENTIAL NFET TO PFET DIVOTS FOR IMPROVED PERFORMANCE VERSUS LEAKAGE
摘要
申请公布号 EP2238616(A1) 申请公布日期 2010.10.13
申请号 EP20090757447 申请日期 2009.05.28
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 ANDERSON, BRENT, ALAN;NOWAK, EDWARD;KU, SUK, HOON
分类号 H01L21/8238;H01L21/336;H01L21/762;H01L29/78 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
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