准分子放电灯

摘要

本发明的目的在于提供一种可抑制对排气管的放电的准分子放电灯，第1发明涉及的准分子放电灯，由以下构成：在内部具有放电空间的放电容器；设置在该放电容器的外表面的一对电极；以及封入到该放电空间，至少由稀有气体及卤素或卤化物构成的放电用气体，该准分子放电灯的特征在于，该放电容器由设置有该一对电极的管状的侧壁、密封该侧壁的一端的一个端壁、以及设置在该侧壁的另一端的另一个端壁构成，该侧壁和一对端壁由蓝宝石、YAG或单晶氧化钇构成，另一个端壁上设置有由金属构成的排气管，在设置了该一对电极的侧壁的内表面和排气管的最短距离之间，设置有由蓝宝石、YAG或单晶氧化钇构成的隔离体。

主权项

一种准分子放电灯，由以下构成：在内部具有放电空间的放电容器；设置在该放电容器的外表面的一对电极；以及封入到该放电空间，至少由稀有气体及卤素或卤化物构成的放电用气体，该准分子放电灯的特征在于，该放电容器由设置有该一对电极的管状的侧壁、密封该侧壁的一端的一个端壁、以及设置在该侧壁的另一端的另一个端壁构成，该侧壁和一对端壁由蓝宝石、YAG或单晶氧化钇构成，另一个端壁上设置有由金属构成的排气管，在设置了该一对电极的侧壁的内表面和排气管的最短距离之间，设置有由蓝宝石、YAG或单晶氧化钇构成的隔离体。