基于环形谐振腔的全固态微光机电陀螺

摘要

本发明涉及基于环形谐振腔的全固态微光机电陀螺，包括垂直腔面发射激光器、共振腔增强型探测器、输入光栅、输出光栅、环形谐振腔、输入和输出光波导、分光隔离器；所述垂直腔面发射激光器集成在SOI材料顶层硅层，利用硅基与III-V族化合物半导体基芯片间的键合技术形成；所述共振腔增强型探测器集成在SOI材料上硅层，应用键合技术键合到InGaAs等探测物质的有源区上；其特点是所述环形谐振腔为圆环形形状，所述输入光栅，通过分光隔离器，输入和输出光波导与环形谐振腔，输出光栅集成一体。本发明基于环形谐振腔的全固态微光机电陀螺主要应用在外部角速度的测量，可应用于小卫星甚至微型卫星中。

主权项

一种基于环形谐振腔的全固态微光机电陀螺，包括硅基底、垂直腔面发射激光器(1)、共振腔增强型探测器(2)、(3)、输入光栅(4)、输出光栅(9)、(10)、环形谐振腔(5)、输入光波导(6)、输出光波导(7)与分光隔离器(8)；所述垂直腔面发射激光器集成在SOI材料顶层硅层；所述共振腔增强型探测器集成在SOI材料上硅层；该全固态微光机电陀螺由上而下有三层结构；其特征在于：所述环形谐振腔为圆环形形状，并在输入光波导与输出光波导之间，所述垂直腔面发射激光器、共振腔增强型探测器与二氧化硅层设有距离；所述输入光栅(4)通过分光隔离器(8)分别与输入光波导、输出光波导、及输出光栅(9)、(10)连接和导通，并与环形谐振腔集成为一体。