发明名称 通过丝网印刷来印刷具有两个叠加层的导体的方法
摘要 本发明为通过丝网印刷来印刷具有两个叠加层的导体的方法。通过丝网印刷在晶片(1)上印刷的方法,其特征在于包括以下步骤:在晶片(1)的表面(4)上产生至少两个第一测试图案(5a-5d);在通过丝网印刷在晶片(1)的表面(4)上印刷期间,印刷至少四个区别于所述至少两个第一测试图案(5a-5d)的第二测试图案(6a-6d);测量在晶片(1)的表面(4)上获得的第一测试图案(5a-5d)与第二测试图案(6a-6d)之间的实际距离;将该实际距离与理论距离相比较,以推导所述印刷的丝网印刷丝网(25)的偏移。
申请公布号 CN101856920A 申请公布日期 2010.10.13
申请号 CN201010174106.5 申请日期 2010.04.06
申请人 原子能及能源替代委员会 发明人 A·贝迪内利
分类号 B41M1/12(2006.01)I;B41F15/12(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 B41M1/12(2006.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人 马浩
主权项 通过丝网印刷在晶片(1)上印刷的方法,其特征在于包括以下步骤:-在晶片(1)的表面(4)上产生至少两个第一测试图案(5a-5d);-在通过丝网印刷在晶片(1)的表面(4)上印刷期间,印刷至少四个区别于所述至少两个第一测试图案(5a-5d)的第二测试图案(6a-6d);-测量在晶片(1)的表面(4)上获得的第一测试图案(5a-5d)与第二测试图案(6a-6d)之间的实际距离;-将该实际距离与理论距离相比较,以推导所述印刷的丝网印刷丝网(25)的偏移。
地址 法国巴黎