发明名称 |
通过丝网印刷来印刷具有两个叠加层的导体的方法 |
摘要 |
本发明为通过丝网印刷来印刷具有两个叠加层的导体的方法。通过丝网印刷在晶片(1)上印刷的方法,其特征在于包括以下步骤:在晶片(1)的表面(4)上产生至少两个第一测试图案(5a-5d);在通过丝网印刷在晶片(1)的表面(4)上印刷期间,印刷至少四个区别于所述至少两个第一测试图案(5a-5d)的第二测试图案(6a-6d);测量在晶片(1)的表面(4)上获得的第一测试图案(5a-5d)与第二测试图案(6a-6d)之间的实际距离;将该实际距离与理论距离相比较,以推导所述印刷的丝网印刷丝网(25)的偏移。 |
申请公布号 |
CN101856920A |
申请公布日期 |
2010.10.13 |
申请号 |
CN201010174106.5 |
申请日期 |
2010.04.06 |
申请人 |
原子能及能源替代委员会 |
发明人 |
A·贝迪内利 |
分类号 |
B41M1/12(2006.01)I;B41F15/12(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
B41M1/12(2006.01)I |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 |
代理人 |
马浩 |
主权项 |
通过丝网印刷在晶片(1)上印刷的方法,其特征在于包括以下步骤:-在晶片(1)的表面(4)上产生至少两个第一测试图案(5a-5d);-在通过丝网印刷在晶片(1)的表面(4)上印刷期间,印刷至少四个区别于所述至少两个第一测试图案(5a-5d)的第二测试图案(6a-6d);-测量在晶片(1)的表面(4)上获得的第一测试图案(5a-5d)与第二测试图案(6a-6d)之间的实际距离;-将该实际距离与理论距离相比较,以推导所述印刷的丝网印刷丝网(25)的偏移。 |
地址 |
法国巴黎 |