液晶显示装置及其制造方法

摘要

提供一种液晶显示装置及其制造方法，在夹在构成液晶显示装置的液晶显示屏的有源矩阵基板上所形成的栅布线和数据布线的交叉部之间的栅绝缘膜的上层，用喷墨法滴入低介电常数绝缘材料作为又一个绝缘膜，无需使该交叉部的交叉电容增加，就能使在硅半导体层上预制的薄膜晶体管性能提高。

主权项

一种液晶显示装置，在第1绝缘基板和第2绝缘基板之间夹着液晶，其特征在于具有：在上述第1绝缘基板上彼此平行地形成的多个栅布线，经由上述栅布线绝缘层交叉且彼此平行地形成的多个数据布线，被上述栅布线和上述数据布线围住的部分各自成为单位像素区，由上述多个栅布线和上述多个数据布线交叉的区域构成显示区，薄膜晶体管，包含：从上述栅布线延伸至上述单位像素区的栅电极、覆盖上述栅布线及上述栅电极的栅绝缘膜、在上述栅绝缘膜上依次形成的半导体层、在该半导体层表面上分开形成的欧姆接触层、以及在上述被分开的欧姆接触层上分别形成的源电极和漏电极，上述栅布线和上述数据布线交叉部中的上述绝缘层，是由上述栅绝缘膜、和采用喷墨法滴入而覆盖该栅绝缘膜的上层或下层的低介电常数绝缘膜构成的二层结构。