发明名称 单结晶拉引装置之远距监看/操作装置
摘要
申请公布号 TWI331636 申请公布日期 2010.10.11
申请号 TW095131083 申请日期 2006.08.24
申请人 SUMCO TECHXIV股份有限公司 发明人 林健悟;西冈研一;梅木俊郎;川岛茂树
分类号 C30B15/20 主分类号 C30B15/20
代理机构 代理人 洪澄文 台北市大安区信义路4段279号3楼
主权项 一种单结晶拉引装置的远距监看/操作装置,藉由在从复数台的单结晶拉引装置远距的场所被设置的远距监看/操作系统,作为监看、操作复数台的单结晶拉引装置的方式,其特征在于:包括收集复数台的单结晶拉引装置的监看情报的监看情报收集手段、以及将上述监看情报传送至远距监看/操作系统的第一传送手段,远距监看/操作系统系包括:第一监视器装置,将各单结晶拉引装置的每个监看情报分别在将监视器画面分割的各分割画面上显示;分割画面选择手段,从第一监视器装置的各分割画面中选择特定的分割画面;第二监视器装置,将被选择的特定的分割画面的监看情报在监视器画面上显示;以及操作手段,操作对应于被选择的特定的分割画面的单结晶拉引装置;上述远距监看/操作装置更包括:第二传送手段,将操作手段的操作情报传送至对应的单结晶拉引装置;以及控制手段,对应于被传送的操作情报而控制单结晶拉引装置。如申请专利范围第1项所述之单结晶拉引装置的远距监看/操作装置,其中在监看情报收集手段被收集的监看情报系为拍摄单结晶拉引装置的炉内的情报。如申请专利范围第1项所述之单结晶拉引装置的远距监看/操作装置,其中在监看情报收集手段被收集的监看情报系为表示单结晶拉引装置的控制状态的情报。如申请专利范围第1项所述之单结晶拉引装置的远距监看/操作装置,其中在监看情报收集手段被收集的监看情报系为表示单结晶拉引装置的控制参数的过去的履历和/或现在的值的趋势资料。如申请专利范围第1项所述之单结晶拉引装置的远距监看/操作装置,其中在监看情报收集手段被收集的监看情报系为拍摄单结晶拉引装置的炉内的情报、表示单结晶拉引装置的控制状态的情报、表示单结晶拉引装置的控制参数的履历的趋势资料中的任两种类的监看情报、或这三种类的监看情报;第一监视器装置系具有对应于两种类的监看情报或三种类的监看情报的两个或三个监视器画面;第二监视器装置系具有对应于两种类的监看情报或三种类的监看情报的两个或三个监视器画面。一种单结晶拉引装置的远距监看/操作装置,藉由在从复数台的单结晶拉引装置远距的场所设置的远距监看/操作系统,作为监看、操作复数台的单结晶拉引装置的方式,其特征在于包括:拍摄手段,将复数台的单结晶拉引装置的炉内以不同的复数的视角拍摄;其中在每一单结晶拉引的各步骤,应拍摄炉内的视角系被预先对应;传送手段,在每一次单结晶拉引步骤移行中,以对应于移行的步骤的视角将拍摄手段所拍摄的炉内的影像传送至远距监看/操作系统;其中远距监看/操作系统系以包括将各单结晶拉引装置中的各步骤的每一拍摄情报在监视器画面上显示的监视器装置而被构成。如申请专利范围第6项所述之单结晶拉引装置的远距监看/操作装置,其中对应于复数的视角的复数台的拍摄手段被设置。一种单结晶拉引装置的远距监看/操作装置,藉由在从复数台的单结晶拉引装置远距的场所被设置的远距监看/操作系统,作为监看、操作复数台的单结晶拉引装置的方式,其特征在于:远距监看/操作系统系包括:监视器装置,将单结晶拉引装置的监看情报在监视器画面上显示;以及操作装置,将对应于操作件的操作的操作信号藉由和监视器装置的处理回路独立的处理回路产生;远距监看/操作装置更包括:传送手段,将产生的操作情报传送至对应的单结晶拉引装置;以及控制手段,对应于被传送的操作情报以控制单结晶拉引装置。如申请专利范围第8项所述之单结晶拉引装置的远距监看/操作装置,其中上述操作件系为按压按钮,只有按压按钮被压动期间,或在每次被压动时,使单结晶拉引装置动作的动作信号被产生;控制手段系对应于动作信号使单结晶拉引装置动作。一种单结晶拉引装置的远距监看/操作装置,藉由在从复数台的单结晶拉引装置远距的场所被设置的远距监看/操作系统,作为监看、操作复数台的单结晶拉引装置的方式,其特征在于:包括收集复数台的单结晶拉引装置的错误情报的错误情报收集手段、以及将上述错误情报传送至远距监看/操作系统的第一传送手段;其中远距监看/操作系统系包括:监视器装置,将各单结晶拉引装置的每个错误情报分别在监视器画面上显示;以及操作手段,从各单结晶拉引装置中选择一台或两台以上的特定的单结晶拉引装置,进行处理于错误用的操作;上述远距监看/操作装置更包括:第二传送手段,将操作手段的操作情报传送至对应的单结晶拉引装置;以及控制手段,对应于被传送的操作情报以控制单结晶拉引装置。如申请专利范围第10项所述之单结晶拉引装置的远距监看/操作装置,其中在监视器画面中,对应于错误发生的单结晶拉引装置的显示部份系以和对应于其他错误未发生的单结晶拉引装置的显示部份不同的显示型态被显示。如申请专利范围第10项所述之单结晶拉引装置的远距监看/操作装置,其中操作手段系为操作在监视器装置的监视器画面被显示的操作按钮的物件。如申请专利范围第10项所述之单结晶拉引装置的远距监看/操作装置,其中处理错误用的操作系包含使单结晶拉引装置紧急停止用的操作;控制手段系对应于操作手段的操作情报使单结晶拉引装置紧急停止。一种单结晶拉引装置的远距监看/操作装置,藉由在从复数台的单结晶拉引装置远距的场所被设置的远距监看/操作系统,作为监看、操作复数台的单结晶拉引装置的方式,其特征在于包括:趋势资料收集手段,收集表示复数台的单结晶拉引装置的控制参数的履历的趋势资料;以及传送手段,将趋势资料传送至远距监看/操作系统;其中远距监看/操作系统系包括:监视器装置,将各单结晶拉引装置中的实际的趋势资料和作为基准的趋势资料一起在监视器画面上显示。如申请专利范围第14项所述之单结晶拉引装置的远距监看/操作装置,其中在实际的趋势资料的值、和作为基准的趋势资料的值的偏差成为既定的临限值以上时,在监视器画面上唤起注意的显示型态的显示被进行。
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