| 主权项 |
一种椭圆测厚仪，包括：一光源；一光源部分模组，具备一用于极化自该光源射出之光的极化器；一分光器，用于分光该光源部分模组所极化的光；一物镜，用于允许该分光器所分光之光的某部分通过及会聚照射至一样品；一光接收部分模组，具备一极化器，用于椭圆极化反射在该样品上之光，及接收反射在该样品上且通过该物镜与该分光器的光；一光学侦测器，用于使用单元装置侦测该光接收部分模组接收的光；及一处理装置，用于修正该光学侦测器所侦测之光的强度至一值，其对应于沿着复数入射表面的通道之该光学侦测器的单元装置，及处理该值。如申请专利范围第1项之椭圆测厚仪，其中该光学侦测器是一具有复数像素的二维影像测量装置。如申请专利范围第1项之椭圆测厚仪，其中该光源部分模组与该光接收部分模组各又包括一滤波器，用于允许在一特定波长范围内的光通过。如申请专利范围第3项之椭圆测厚仪，其中该光源部分模组与该光接收部分模组各又包括一准直透镜与一补偿器。 |
