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一种微小构造体的检查装置，其特征为：其系评估具有形成于基板上之可动部的至少一个微小构造体的特性者，且包含：探针，其系为了取出前述微小构造体之电性信号，而与形成于前述微小构造体之检查用电极电性连接者；复数个喷嘴，其系配置于前述微小构造体之可动部之近旁，喷出或吸入气体者；气体流量控制机构，其系控制从前述复数个喷嘴所喷出或吸入之气体流量者；及评估机构，其系将前述微小构造体之可动部的位移藉由经由前述探针所获得之电性信号进行检测，并依据检测结果评估前述微小构造体之特性，而该微小构造体之可动部的位移系藉由从复数个喷嘴所喷出或吸入之气体而施加者。如请求项1之微小构造体的检查装置，其中具备探针卡，其系与前述评估机构连接者，且包含：前述探针；及前述复数个喷嘴。如请求项1之微小构造体的检查装置，其中更具备至少一个音波产生机构，其系用于对前述微小构造体之可动部输出测试音波者。如请求项1之微小构造体的检查装置，其中更具备导通机构，其系利用熔结(fritting)现象而使前述探针与前述检查用电极导通者。如请求项1之微小构造体的检查装置，其中前述气体流量控制机构系藉由控制从前述复数个喷嘴所喷出或吸入之气体流量，而除去附着于前述微小构造体之异物。如请求项2之微小构造体的检查装置，其中前述探针卡更包含：异物检测机构，其系检测附着于前述微小构造体之异物者；前述气体流量控制机构系在藉由前述异物检测机构检测前述异物之情形时，藉由控制从前述复数个喷嘴所喷出或吸入之气体流量，而除去附着于前述微小构造体之异物。如请求项6之微小构造体的检查装置，其中前述异物检测机构系藉由图像解析机构而判别前述异物之有无及位置。如请求项1之微小构造体的检查装置，其中前述微小构造体系形成于前述基板上之加速度感测器。如请求项1之微小构造体的检查装置，其中前述微小构造体系形成于半导体晶圆之元件。一种微小构造体的检查方法，其特征为包含以下步骤：为了取出至少一个之微小构造体的电性信号，而使探针接触形成于前述微小构造体之焊垫，而该微小构造体系具有形成于基板上之可动部者；为了使前述微小构造体之可动部位移，而将喷出或吸入气体之喷嘴配置于前述微小构造体之近旁；从前述复数个喷嘴喷出或吸入气体，以使前述微小构造体之可动部位移；将前述微小构造体之可动部的位移藉由经由前述探针所获得之电性信号进行检测，而该微小构造体之可动部的位移系藉由从前述复数个喷嘴所喷出或吸入之气体而施加者；及依据藉由前述电性信号所检测出之可动部的位移，评估前述微小构造体之特性。 |
