发明名称 气浮式辅助搬运装置
摘要
申请公布号 TWM390539 申请公布日期 2010.10.11
申请号 TW099210975 申请日期 2010.06.09
申请人 进期科技股份有限公司 发明人 张文奇
分类号 H01L21/677 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人 高玉骏 台北市松山区南京东路3段248号7楼;杨祺雄 台北市松山区南京东路3段248号7楼
主权项 一种气浮式辅助搬运装置,包含:一工作台,包括一台体、多数形成于该台体顶面的设置槽,以及多数分别形成于所述设置槽内的入气孔;多数气浮单元,每一气浮单元包括一设置于该工作台的相对应设置槽内的下座体、一形成于该下座体上并连通于相对应入气孔的气体通道、一设置于该下座体相对上方的上座体、一形成于该上座体上并与该气体通道相连通的出气孔、一设置于该气体通道内的弹性元件,以及一设置于该弹性元件上并受该弹性元件推抵而能由下而上遮蔽该出气孔的球体;以及一供气单元,设置于该台体底面以将气体输入该工作台的入气孔内。根据申请专利范围第1项所述的气浮式辅助搬运装置,其中,每一气浮单元还包括一设置于该上座体与该下座体之间以避免气体外泄的上O型环。根据申请专利范围第2项所述的气浮式辅助搬运装置,其中,每一气浮单元还包括一设置于该下座体与相对应设置槽之间的下O型环。根据申请专利范围第3项所述的气浮式辅助搬运装置,其中,每一气浮单元的下座体是以螺栓螺合的方式设置于相对应设置槽内。根据申请专利范围第4项所述的气浮式辅助搬运装置,其中,每一气浮单元的上座体是以螺栓螺合的方式设置该下座体上。根据申请专利范围第5项所述的气浮式辅助搬运装置,其中,所述气浮单元的上座体顶缘是切齐于该工作台的台体顶缘。根据申请专利范围第3项所述的气浮式辅助搬运装置,其中,每一气浮单元的下座体具有一下座体部,以及多数由该下座体部向外延伸的下卡块部,每一设置槽具有一主槽体部,以及多数由该主槽体部向外延伸的下卡槽部,该下座体的下卡块部是以旋转卡合的方式卡合于相对应的下卡槽部。根据申请专利范围第7项所述的气浮式辅助搬运装置,其中,每一气浮单元的下座体还具有多数由该下座体部向外延伸的上卡块部,每一上座体具有一上座体部,多数形成于该上座体部的上卡槽部,该上座体的上卡槽部是以旋转卡合的方式卡合于该下座体的上卡块部。根据申请专利范围第1项所述的气浮式辅助搬运装置,其中,该工作台还包括一形成于该台体内并连通于所述入气孔的气室,该供气单元是透过该气室而将气体输入于所述入气孔。
地址 高雄县林园乡中门路339巷50弄26号