半导体装置注入机器之喷嘴碰撞感测器

主权项

一种半导体装置注入机器之喷嘴碰撞感测器，包含：一驱动单元；一涂布头，具有一喷嘴经其排出一液体，用以涂布该液体于藉由该驱动单元传输之一驱动力沿一带馈送导引轨传送之一带上；以及一震动侦测单元，置于该涂布头，当该涂布头移动时，用以侦测该涂布头之一震动。如申请专利范围第1项所述之半导体装置注入机器之喷嘴碰撞感测器，更包含一指示单元，当该震动侦测单元侦测的震动具有一值大于一预设值时，用以产生一信号。如申请专利范围第2项所述之半导体装置注入机器之喷嘴碰撞感测器，其中该指示单元实施为一显示灯，当该侦测的震动具有一值大于一预设值时，该显示灯为亮灯。如申请专利范围第1项所述之半导体装置注入机器之喷嘴碰撞感测器，其中该震动侦测单元置于一注射器设置部，该注射器设置部供设置构成该涂布头及容纳该液体之一注射器。