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发明名称 REMOVAL OF SURFACE DOPANTS FROM A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20100109921(A) 申请公布日期 2010.10.11
申请号 KR20107015029 申请日期 2008.12.18
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 RAMASWAMY KARTIK;COLLINS KENNETH S.;GALLO BIAGIO;HANAWA HIROJI;FOAD MAJEED A.;HILKENE MARTIN A.;SANTHANAM KARTIK;SCOTNEY CASTLE MATTHEW D.
分类号 H01L21/265;H01L21/302 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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