| 摘要 |
1. Способ изготовления стеклоизделия с содержащим легирующие примеси покрытием из оксида цинка, имеющим низкое удельное сопротивление, при осуществлении которого: ! обеспечивают горячую стеклянную основу с поверхностью, на которую наносят покрытие, и ! наносят указанное покрытие из оксида цинка, содержащее легирующие примеси, на эту поверхность основы посредством подачи на нее газообразных реагентов, включающих цинксодержащее соединение, по меньшей мере одно фторсодержащее соединение, по меньшей мере одно кислородсодержащее соединение и по меньшей мере одно соединение, содержащее элемент 13-й группы, выбранный из элементов, включающих бор, алюминий, галлий и индий. ! 2. Способ по п.1, в котором нанесение покрытия осуществляют химическим осаждением из паровой фазы. ! 3. Способ по п.2, в котором химическое осаждение из паровой фазы осуществляют при атмосферном давлении. ! 4. Способ изготовления стеклоизделия с содержащим легирующие примеси покрытием из оксида цинка, имеющим низкое удельное сопротивление, посредством химического осаждения из паровой фазы при атмосферном давлении, при осуществлении которого: ! обеспечивают горячую стеклянную основу с поверхностью, на которую наносится покрытие и которая имеет температуру по меньшей мере 400°С, и ! наносят указанное покрытие из оксида цинка, содержащее легирующие примеси, на эту поверхность основы посредством подачи на нее газообразных реагентов, включающих цинксодержащее соединение, по меньшей мере одно фторсодержащее соединение, по меньшей мере одно кислородсодержащее соединение и по меньшей мере одно соединение, содержащее элемент 13-й группы, выбранный из � |
