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Eine Vorrichtung (10) zum optischen Inspizieren einer Oberfläche (58) an einem Gegenstand (56) besitzt ein Muster (28), das mit einer Vielzahl von helleren und dunkleren Bereichen (29, 30) ausgebildet ist. Die helleren und dunkleren Bereiche bilden einen ersten räumlichen Intensitätsverlauf (31) mit einer ersten räumlichen Periode. Ferner weist die Vorrichtung eine Aufnahme (54) zum Positionieren des Gegenstandes mit der Oberfläche (58) relativ zu dem Muster (28) auf. Das Positionieren erfolgt derart, dass der erste Intensitätsverlauf auf die O(20) vorgesehen, die ein Verschieben des ersten Intensitätsverlaufs relativ zu der Oberfläche um eine definierte Schiebedistanz ermöglicht. Dabei nimmt die Oberfläche entlang der Schiebedistanz eine Vielzahl von unterschiedlichen Positionen relativ zu dem ersten Intensitätsverlauf ein. Eine Bildaufnahmeeinheit (50) ermöglicht ein Aufnehmen einer Vielzahl von Bildern, die die Oberfläche mit dem ersten Intensitätsverlauf an den unterschiedlichen Positionen zeigen. Weiter ist eine Auswerteeinheit (46) vorgesehen, die Eigenschaften der Oberfläche in Abhängigkeit von den Bildern bestimmt. Gemäß einem Aspekt der Erfindung ist eine Messeinheit (48) vorgesehen, die die Momentanposition des ersten Intensitätsverlaufs relativ zu dem Gegenstand (56) erfasst.
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