Messstativ und Verfahren zu dessen elektrischer Ansteuerung
摘要
Die Erfindung betrifft ein Messstativ zur Aufnahme einer Messsonde, insbesondere zur Messung der Dicke dünner Schichten, sowie ein Verfahren zur Ansteuerung des Messstativs.
申请公布号
DE102010011633(A1)
申请公布日期
2010.10.07
申请号
DE201010011633
申请日期
2010.03.16
申请人
HELMUT FISCHER GMBH INSTITUT FUER ELEKTRONIK UND MESSTECHNIK
