摘要 |
Es wird eine Vorrichtung zur Dämpfung einer Bewegung einer seismischen Masse eines mikromechanischen Inertialsensors vorgeschlagen, wobei die Vorrichtung eingerichtet ist, die seismische Masse in Abhängigkeit von Werten zumindest eines Bewegungsparameters der seismischen Masse mit einer die Bewegung der seismischen Masse dämpfenden Kraft zu beaufschlagen, wobei die Dämpfung elektrisch bewirkt wird.
|