Mikroelektromechanischer Oszillator

摘要

Ein mikroelektromechanischer Oszillator hat einen Schwingungserreger, der einen Aktor (7a, 7b) und eine Ansteuereinrichtung (10) dafür aufweist. Der Aktor (7a, 7b) steht mit einer in Schwingung zu versetzenden Masse (2) in Antriebsverbindung. Zur Erfassung eines von der Schwingung der Masse (2) abhängigen Messsignals ist eine Messvorrichtung (8) vorgesehen, die derart mit der Ansteuereinrichtung (10) in einen Oszillator-Regelkreis geschaltet ist, dass die Masse (2) mit einer Resonanzfrequenz zur Schwingung angeregt wird. Die Messvorrichtung (8) umfasst einen mikroelektromechanischen kapazitiven Sensor (9a, 9b), der Elektroden aufweist, die in Abhängigkeit von der Auslenkung der Masse (2) aufeinander zu- und voneinander wegbewegbar sind. Die Messvorrichtung (8) weist ein Positionssensor-Interface auf, der im Oszillator-Regelkreis angeordnet ist und mit einem Eingangsanschluss (15a, 15b) mit dem Sensor (9a, 9b) und mit einem Ausgangsanschluss (20a, 20b) mit der Ansteuereinrichtung (10) verbunden ist. Im Oszillator-Regelkreis ist ein Phasenschieber vorgesehen.