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<p>In einem Verfahren zum Erfassen von Beschleunigungen entlang und Drehraten um mindestens eine, vorzugsweise zwei von drei senkrecht aufeinanderstehende Raumachsen x, y, und z, mittels eines MEMS-Sensors (1) werden mindestens eine Antriebsmasse (6; 6.1, 6.2) und mindestens eine Sensormasse (5) auf einem Substrat (2) beweglich angeordnet und die mindestens eine Antriebsmasse (6; 6.1, 6.2) relativ zu der mindestens einen Sensormasse (5) oszillierend mit einer Antriebsfrequenz bewegt. Antriebsmasse/n (6; 6.1, 6.2) und Sensormasse/n (5) werden bei Auftreten einer äußeren Beschleunigung des Sensors (1) mit einer Beschleunigungsfrequenz und bei Auftreten einer äußeren Drehrate des Sensors (1) mit einer Drehratenfrequenz ausgelenkt, wobei Beschleunigungsfrequenz und Drehratenfrequenz unterschiedlich sind. Bei einem entsprechenden MEMS-Sensor sind im Ruhezustand Antriebsmasse/n (6; 6.1, 6.2) und Sensormasse/n (5) mittels mindestens einem der Anker (3) ausgewogen auf dem Substrat (2) angeordnet. Im Antriebmodus erzeugen die Antriebsmasse/n (6; 6.1, 6.2) bei oszillierenden Schwingen um diesen mindestens einen Anker (3) ein Ungleichgewicht der Antriebsmasse/n (6; 6.1, 6.2) und der Sensormasse/n (5) bezüglich dieses mindestens einen Ankers (3). Die Sensorelemente erfassen Auslenkungen der Antriebs- und Sensormassen aufgrund erzeugter Drehmomente und Corioliskräfte mit einer Beschleunigungsfrequenz und/oder einer Drehratenfrequenz.</p> |
