发明名称 用于对准电子电路板的对准装置及方法
摘要 一种用于对准电子电路板(11)的对准装置包括:传送装置(13),其能够沿传送轴将该电路板(11)至少从入口位置(14)传送至界定对准平面的对准位置(15)。该装置还包括活动构件(20),其具有:第一移动构件(33),其能够在第一方向上移动该活动构件(20),以使该活动构件(20)关联于该电路板(11),该第一方向的指向为第一轴,其基本上与该对准平面垂直;第二移动构件(28),其能够围绕该第一轴旋转与该活动构件(20)相关联的电路板(11);以及至少第三移动构件(34),其能够在第二方向上移动与该活动构件(20)相关联的电路板(11),该第二方向的指向为第二轴,其基本上横切于该第一轴,且基本上与该传送轴共平面。
申请公布号 CN101855720A 申请公布日期 2010.10.06
申请号 CN200880115777.5 申请日期 2008.03.05
申请人 应用材料意大利唯一股东有限公司 发明人 安德烈亚·贝茨尼
分类号 H01L21/68(2006.01)I 主分类号 H01L21/68(2006.01)I
代理机构 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人 徐金国;钟强
主权项 一种用于对准电子电路板(11)的对准装置,其包括传送装置(13),能够沿传送轴(Y)将该电路板(11)至少从入口位置(14)传送至对准位置(15),其界定对准平面(P),其特征在于该对准装置还包括活动构件(20),该活动构件(20)包括:第一移动构件(33),其能够在第一方向上移动该活动构件(20),以使该活动构件(20)关联于该电路板(11),该第一方向的指向为第一轴(Z),其基本上与该对准平面(P)垂直;第二移动构件(28),其能够围绕该第一轴(Z)旋转与该活动构件(20)相关联的电路板(11);以及至少第三移动构件(34),其能够在第二方向上移动与该活动构件(20)相关联的电路板(11),该第二方向的指向为第二轴(X),其基本上横切于该第一轴(Z),且基本上与该传送轴(Y)共平面。
地址 意大利圣亚焦迪卡拉尔塔