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发明名称 METHOD FOR THE SURFACE MODIFICATION OF FLAT SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP2155403(B1) 申请公布日期 2010.10.06
申请号 EP20080758660 申请日期 2008.05.20
申请人 RENA GMBH 发明人 KALTENBACH, KONRAD;SCHIENLE, FRANK;BALDUS, ANDREAS;BARBAR, GHASSAN
分类号 C23C2/04;C03C17/00;C03C17/22;H01L31/18 主分类号 C23C2/04
代理机构 代理人
主权项
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