发明名称 |
内埋式线路基板的结构及其制造方法 |
摘要 |
一种内埋式线路基板的制造方法,包括:提供一基板;在基板处形成一通孔(though hole)与数个沟槽(trenches),且通孔贯穿基板,该些沟槽则形成于基板的上表面和下表面处;和对基板进行一次电镀(one-plating step),使通孔和该些沟槽同时镀满一导电材料。其中,基板为一厚树脂基板,包括一中心层、和形成于中心层的上下表面具有一定厚度的第一、二树脂层,且沟槽形成于第一、二树脂层处。且填充于该些沟槽的导电材料分别与第一、第二树脂层的表面齐平。 |
申请公布号 |
CN101853840A |
申请公布日期 |
2010.10.06 |
申请号 |
CN200910133258.8 |
申请日期 |
2009.04.01 |
申请人 |
日月光半导体制造股份有限公司 |
发明人 |
唐心陆;李德章 |
分类号 |
H01L23/498(2006.01)I;H01L23/14(2006.01)I;H01L21/48(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/498(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
陆勍 |
主权项 |
一种内埋式线路基板的制造方法,包括:提供一基板;在该基板处形成一通孔(through hole)与数个沟槽(trenches),且该通孔贯穿该基板,该些沟槽则形成于该基板的一上表面和一下表面处;和对该基板进行一次电镀(one-plating step),使该通孔和该些沟槽同时镀满一导电材料。 |
地址 |
中国台湾高雄市楠梓加工出口区经三路26号 |