| 发明名称 | 具有与机械及电功能分离的光学功能的微机电装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种微机电(MEMS)装置(1300)，其包含衬底(20)、所述衬底(20)上的可移动元件(1340)及所述可移动元件(1340)上的激活电极(142)。所述可移动元件(1340)包含可变形层(1302)及反射元件(1314)。所述可变形层(1302)与所述反射元件(1314)间隔开。 | ||
| 申请公布号 | CN101855586A | 申请公布日期 | 2010.10.06 |
| 申请号 | CN200880023131.4 | 申请日期 | 2008.06.24 |
| 申请人 | 高通MEMS科技公司 | 发明人 | 克拉伦斯·徐;威廉·卡明斯;布莱恩·J·加利;利奥尔·科格特;董明皓;董叶俊;姜志伟;丹尼斯·恩迪施 |
| 分类号 | G02B26/00(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 主分类号 | G02B26/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人 | 刘国伟 |
| 主权项 | 一种微机电(MEMS)装置，其包括：衬底；所述衬底上的可移动元件，所述可移动元件包括可变形层及反射元件，所述可变形层与所述反射元件间隔开；以及所述可移动元件上的激活电极。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||