高功率气体CO₂激光器光学谐振腔

摘要

一种高功率气体CO2激光器的光学谐振腔，该光学谐振腔包括：全反射镜、全反射镜座、全反射镜压盖、输出反射镜、输出反射镜座、输出反射镜压盖。其连接关系是光学谐振腔安装固定在高稳定光学支架的两端板上，经有弹性可调整的波纹管固定连接在密闭循环流动的工作气体腔室通道的两端。通过校准光源调整全反射镜、输出反射镜的轴心，与激光放电腔的空间光轴“0”同轴。储能充放电路注入电能后使激光放电腔的一对放电电极大面积均匀的辉光放电，经全反射镜和输出反射镜多次的激励谐振，使脉冲信号多次反复越来越强形成激光，并通过输出窗口发射激光而构成激光器的光学谐振腔。本发明稳定可靠，结构紧凑，适用于高功率气体激光器和脉冲气体激光器。

主权项

高功率气体CO2激光器的光学谐振腔，其特征在于包括输出反射镜压盖(1)、短内六角螺钉(2)、铟钢垫圈(3)、输出反射镜(4)、上、下位移调整块(5)、左、右位移调整块(6)、输出反射镜座(7)、波纹管大法兰盘(8)、中O形密封圈(9)、大O形密封圈(10)、六角螺栓(11)、波纹管(12)、高稳定光学支架(13)、激光放电腔(14)、放电电极(15)、波纹管小法兰盘(16)、全反射镜(17)、全反射镜压盖(18)、小O形密封圈(19)、长内六角螺钉(20)、全反射镜座(21)、仰角调整螺栓(22)构成光学谐振腔；各部件的位置及连接关系：所述的光学谐振腔为一通长的矩形体结构，沿高稳定光学支架(13)的两端板上装有波纹管的大法兰盘(8)，并通过波纹管(12)和波纹管小法兰盘(16)，沿轴向与激光放电腔(14)箱体的两端板连接；在一端的波纹管大法兰盘(8)上装有全反射镜光学元件支架，在另一端的波纹管大法兰盘(8)上装有输出反射镜光学元件支架，做为高功率气体CO2激光器发射激光的输出窗口；在波纹管大法兰盘(8)上还装有仰角调整螺栓(22)，用来调整全反射镜(17)、输出反射镜(4)的仰角，修正使其轴心与激光放电腔(14)的空间光轴0同轴；在光学支架(13)的两端板上还装有光学谐振腔的支撑和位移调节机构上、下位移调整块(5)和左、右位移调整块(6)，通过调整使激光器光学谐振腔的空间光轴0与校准光源的光轴0同轴；在光学元件的全反射镜(17)和输出反射镜(4)与光学元件支架(13)的结构压盖之间装有铟钢垫圈(3)；光学元件与镜座(7)、(21)的连接和波纹管大法兰盘(8)与输出反射镜座(7)、全反射镜座(21)的连接，都是采用中O形密封圈(9)、大密封圈(10)接触压紧密封连接；由放电电极激励放电后产生的光电子脉冲，经全反射镜(17)和输出反射镜(4)多次反复的谐振放大，由输出窗口发射获得高功率激光和高质量光束。