被覆有硬质被膜的部件及其制造方法

摘要

本发明提供一种被覆有硬质被膜的部件，其特征在于，其是被覆了具有压缩应力且厚度为5μm以上的硬质被膜的部件，所述硬质被膜具有组成式(Me1-aXa)α(N1-x-yCxOy)所示的面心立方结构，所述硬质被膜的X射线衍射中的(111)面的峰强度Ir、(200)面的峰强度Is和(220)面的峰强度It满足2≤Is/Ir和0.2≤It/Ir≤1，(200)面的半值宽度W(°)满足W≤0.7，其中，Me为选自4a、5a、6a族中的至少一种元素，X为选自Al、Si、B、S中的至少一种元素，a、x、y分别表示X、C、O的含量(原子比)，α表示(Me1-aXa)与(N1-x-yCxOy)的比，且满足0.1≤a≤0.65，0≤x≤0.1，0≤y≤0.1和0.85≤α≤1.25。

主权项

一种被覆有硬质被膜的部件，其特征在于，是被覆了具有压缩应力且厚度为5μm以上的硬质被膜的部件，所述硬质被膜具有组成式(Me1-aXa)α(N1-x-yCxOy)所示的面心立方结构，所述硬质被膜的X射线衍射中的(111)面的峰强度Ir、(200)面的峰强度Is以及(220)面的峰强度It满足2≤Is/Ir和0.2≤It/Ir≤1，(200)面的半值宽度W(°)满足W≤0.7，(Me1-aXa)。α(N1-x-yCxOy)中，Me为选自4a、5a、6a族中的至少一种元素，X为选自Al、Si、B、S中的至少一种元素，a、x、y分别表示X、C、O的含量即原子比，α表示(Me1-aXa)与(N1-x-yCxOy)的比，且满足0.1≤a≤0.65，0≤x≤0.1，0≤y≤0.1和0.85≤α≤1.25。