发明名称 复合真空泵
摘要 本发明属抽真空设备领域,提供一种复合真空泵,包括泵壳、以及开设于所述泵壳上的进气口及排气口,所述泵壳内设有若干级同轴安装的牵引分子泵和罗茨泵;所述牵引分子泵采用并联或者串联组合,置于靠近所述进气口处;所述罗茨泵采用串联组合,置于靠近所述排气口处;所述牵引分子泵和罗茨泵采用串联组合。本发明所提供的复合真空泵抽速大、极限真空高、能耗低、尺寸小、重量轻,还能获得清洁的中真空和高真空。
申请公布号 CN101852199A 申请公布日期 2010.10.06
申请号 CN200910106271.4 申请日期 2009.03.31
申请人 储继国 发明人 储继国
分类号 F04B41/06(2006.01)I;F04B37/14(2006.01)I;F04D19/04(2006.01)I;F04C18/14(2006.01)I 主分类号 F04B41/06(2006.01)I
代理机构 深圳中一专利商标事务所 44237 代理人 张全文
主权项 一种复合真空泵,包括泵壳、开设于所述泵壳上的进气口及排气口,所述泵壳内设有多级同轴安装的牵引分子泵和罗茨泵,其特征在于:所述牵引分子泵采用并联或者串联组合,置于靠近所述进气口处;所述罗茨泵采用串联组合,置于靠近所述排气口处;所述牵引分子泵和罗茨泵采用串联组合。
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