发明名称 |
复合真空泵 |
摘要 |
本发明属抽真空设备领域,提供一种复合真空泵,包括泵壳、以及开设于所述泵壳上的进气口及排气口,所述泵壳内设有若干级同轴安装的牵引分子泵和罗茨泵;所述牵引分子泵采用并联或者串联组合,置于靠近所述进气口处;所述罗茨泵采用串联组合,置于靠近所述排气口处;所述牵引分子泵和罗茨泵采用串联组合。本发明所提供的复合真空泵抽速大、极限真空高、能耗低、尺寸小、重量轻,还能获得清洁的中真空和高真空。 |
申请公布号 |
CN101852199A |
申请公布日期 |
2010.10.06 |
申请号 |
CN200910106271.4 |
申请日期 |
2009.03.31 |
申请人 |
储继国 |
发明人 |
储继国 |
分类号 |
F04B41/06(2006.01)I;F04B37/14(2006.01)I;F04D19/04(2006.01)I;F04C18/14(2006.01)I |
主分类号 |
F04B41/06(2006.01)I |
代理机构 |
深圳中一专利商标事务所 44237 |
代理人 |
张全文 |
主权项 |
一种复合真空泵,包括泵壳、开设于所述泵壳上的进气口及排气口,所述泵壳内设有多级同轴安装的牵引分子泵和罗茨泵,其特征在于:所述牵引分子泵采用并联或者串联组合,置于靠近所述进气口处;所述罗茨泵采用串联组合,置于靠近所述排气口处;所述牵引分子泵和罗茨泵采用串联组合。 |
地址 |
518000 广东省深圳市南山区南海大道3688号 |