| 发明名称 | 正型感光性树脂组合物、抗蚀图形的制法、半导体装置及电子设备 | ||
| 摘要 | 本发明的正型感光性树脂组合物，其含有(A)通过具有碳数为4～100的不饱和烃基的化合物改性的酚醛树脂、(B)通过光生成酸的化合物、(C)热交联剂、和(D)溶剂。本发明的正型感光性树脂组合物，具有可以使用碱水溶液进行显影，以及能够以足够高的光感度和分辨率，形成粘附性优异且具有良好耐热冲击性的抗蚀图形的效果。 | ||
| 申请公布号 | CN101855596A | 申请公布日期 | 2010.10.06 |
| 申请号 | CN200880115804.9 | 申请日期 | 2008.11.07 |
| 申请人 | 日立化成工业株式会社 | 发明人 | 松谷宽;上野巧;亚历山大·尼古拉;七海宪 |
| 分类号 | G03F7/023(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/40(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;H01L23/12(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/023(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 雒纯丹 |
| 主权项 | 一种正型感光性树脂组合物，含有(A)通过具有碳数为4～100的不饱和烃基的化合物改性的酚醛树脂、(B)通过光生成酸的化合物、(C)热交联剂、和(D)溶剂。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||