| 发明名称 | 抗静电处理的工作台 | ||
| 摘要 | 公开一种抗静电处理的工作台。在其上安装有基材的抗静电处理的工作台的表面上涂敷碳纳米管涂层膜。碳纳米管涂层膜的方块电阻为约105Ω/□至约109Ω/□。 | ||
| 申请公布号 | CN101853800A | 申请公布日期 | 2010.10.06 |
| 申请号 | CN200910159251.3 | 申请日期 | 2009.08.10 |
| 申请人 | 塔工程有限公司;拓普纳诺斯株式会社 | 发明人 | 金原南;吴尚根 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 顾晋伟;王春伟 |
| 主权项 | 一种工作台，其涂敷有抗静电材料并进行了抗静电处理，所述工作台包括：台基底，在所述台基底的至少一个表面上安装有晶片基材或显示器基材，所述至少一个表面由导电材料形成；和在所述台基底的所述至少一个表面上涂敷的包含碳纳米管的碳纳米管涂层膜，防止在所述基材和所述台基底之间产生静电。 | ||
| 地址 | 韩国庆尚北道龟尾市 | ||