WAFER DEFECT DETECTION SYSTEM WITH TRAVELING LENS MULTI-BEAM SCANNER,申请号EP20030711306-传众专利搜索

发明名称	WAFER DEFECT DETECTION SYSTEM WITH TRAVELING LENS MULTI-BEAM SCANNER
摘要
申请公布号	EP1490669(A4)	申请公布日期	2010.10.06
申请号	EP20030711306	申请日期	2003.03.14
申请人	APPLIED MATERIALS ISRAEL LTD.	发明人	FELDMAN, HAIM;ELYASAF, EMANUEL;ELMALIACH, NISSIM;NAFTALI, RON;GOLDBERG, BORIS;REINHORN, SILVIU
分类号	G01B11/30;G01N21/00;G01N21/88;G01N21/89;G01N21/95;G01N21/956;G02B21/00;H01L21/66	主分类号	G01B11/30
代理机构		代理人
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