微纳米级三维测量“331”系统及其测量方法

摘要

微纳米级三维测量“331”系统及其测量方法，其特征是设置三维测量系统X、Y、Z轴标准量尺寸线或其延长线相互垂直并相交于一交点上，以交点为坐标原点，建立三维坐标系；设置测量系统中测量平台的X轴导轨导向面、Y轴导轨导向面与测头中心点所在的测量面三面共面形成重合平面；设置X、Y、Z轴标准量尺寸线或其延长线的交点处于测量平台的重合平面上；同时使X、Y轴标准量尺寸线或其延长线也与三面重合，使已建三维坐标系的X、Y坐标面与测量面重合；设置测头中心点与三条标准量尺寸线或其延长线交点重合。本发明在三维方向上都满足阿贝原则，从而能有效避免阿贝误差，保证高测量精度。

主权项

微纳米级三维测量“331”系统，其特征是系统构成为：设置三维测量系统的X、Y、Z轴标准量尺寸线或其延长线相互垂直并相交于一交点上，以所述交点为坐标原点，建立三维坐标系；设置测量系统中测量平台的X轴导轨导向面、Y轴导轨导向面与测头中心点所在的测量面三面共面形成重合平面，从而建立三维共平面测量平台；设置所述X、Y、Z轴标准量尺寸线或其延长线的交点处于测量平台的X轴导轨导向面、Y轴导轨导向面、测量面三面的重合平面上；同时使X、Y轴标准量尺寸线或其延长线也与三面重合，使已建三维坐标系的X、Y坐标面与测量面重合；设置测头中心点与三条标准量尺寸线或其延长线交点重合；所述测量系统的测量平台由X向滑座(1)、Y向滑座(2)、工作滑台(3)和Z向可调工作台(4)以由外向内逐一嵌套的结构形式组成；其中，X向滑座(1)和Y向滑座(2)之间的X导轨面(11)与Y向滑座(2)和工作滑台(3)之间的Y导轨面(12)与测头中心所在的测量面处在同一面上，被测工件放在嵌套在工作滑台(3)中的Z向可调工作台(4)上。