发明名称
摘要
申请公布号 JP4557505(B2) 申请公布日期 2010.10.06
申请号 JP20030140274 申请日期 2003.05.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L29/161;H01L21/205;H01L21/324 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
地址