发明名称 一种太阳能电池单晶硅片的制造方法
摘要 本发明涉及一种太阳能电池的单晶硅片的制造方法,依次包括准备、配料、拉棒和切割步骤,拉棒步骤包括熔化、挥发、种晶、缩颈、放肩、拉晶、收尾和冷却过程。其中,在配料步骤中,采取以原生多晶硅为主原料并掺硼母合金的配方,或者以原生多晶硅为主原料配以循环料的配方;在拉棒步骤中,控制坩埚转速为1rpm~8rpm以降低硅熔融液的氧浓度,控制晶棒转速为3rpm~12rpm以改善生长晶棒中氧的径向分布,并控制晶棒拉速为0.8mm/min~3mm/min。所生产的单晶硅片氧含量低且分布均匀,所制成的单晶硅太阳能电池质量上佳,光电转换效率高、衰减低。
申请公布号 CN101851779A 申请公布日期 2010.10.06
申请号 CN201010194517.0 申请日期 2010.06.04
申请人 浙江芯能光伏科技有限公司 发明人 李金甫;屠勇勇;肖冀;季炯
分类号 C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 主分类号 C30B15/00(2006.01)I
代理机构 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 代理人 吴关炳
主权项 一种太阳能电池单晶硅片的制造方法,依次包括准备、配料、拉棒和切割步骤,所述拉棒步骤包括熔化、挥发、种晶、缩颈、放肩、拉晶、收尾和冷却过程;其特征在于,其中,(1)在所述配料步骤中,采取以原生多晶硅为主原料并掺硼母合金的配方,或者以原生多晶硅为主原料配以循环料的配方;(2)在所述拉棒步骤中,控制坩埚转速为1rpm~8rpm以降低硅熔融液的氧浓度,控制晶棒转速为3rpm~12rpm以改善生长晶棒中氧的径向分布,并控制晶棒拉速为0.8mm/min~3mm/min。
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