一种利用局域背场制备太阳能电池的方法

摘要

一种利用局域背场制备太阳能电池的方法，选取硅片制绒，然后进行硼或磷扩散，清洗掉扩散后硅片表面残留的硼硅玻璃层或磷硅玻璃层后，接着在硅片正面利用PECVD沉积氮化硅薄膜，再采用热碱液抛光背面，并在抛光后的背面上沉积钝化膜、进行激光开孔和溅射铝层，最后在硅片正面丝网印刷银电极，进行烧结并测试分选即可，该方法避免了刻蚀过程中叠片所导致的漏电问题；背面钝化膜采用PECVD工艺更适合大规模生产；采用背面激光开孔，提高了制作速度，减少了工艺步骤，避免腐蚀浆料带来的污染，且Al层通过小孔可以很好的与硅烧结接触，这样使得金属与背表面硅接触面积更小，减少了背表面的载流子复合速率。

主权项

一种利用局域背场制备太阳能电池的方法，其特征在于，选取硅片制绒，然后进行硼或磷扩散，清洗掉扩散后硅片表面残留的硼硅玻璃层或磷硅玻璃层后，接着在硅片正面利用PECVD沉积氮化硅薄膜，再采用热碱液抛光背面，并在抛光后的背面上沉积钝化膜、进行激光开孔和溅射铝层，最后在硅片正面丝网印刷银电极，进行烧结并测试分选即可。