| 发明名称 | 自动扫描探针成像的方法和设备 | ||
| 摘要 | 一种操作扫描探针显微镜(SPM)(10)的方法，包括在所述SPM(10)的探针(14)与样品(22)相互作用时扫描所述样品(22)，以及收集响应于所述扫描步骤(36)的样品表面数据。所述方法从所述样品表面数据识别(38)所述样品(22)的特征，并且基于所述识别步骤(38)以自动执行所述特征的放大扫描(42)。所述方法操作为快速识别和确认目的特征如纳米微刺(asperity)的位置，以有助于执行所述特征的定向高分辨率成像。 | ||
| 申请公布号 | CN101855534A | 申请公布日期 | 2010.10.06 |
| 申请号 | CN200880115559.1 | 申请日期 | 2008.09.12 |
| 申请人 | 威科仪器公司 | 发明人 | 苏全民;谢尔盖·别利科夫 |
| 分类号 | G01N13/10(2006.01)I;H01J37/26(2006.01)I | 主分类号 | G01N13/10(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 顾晋伟;王春伟 |
| 主权项 | 一种操作扫描探针显微镜(SPM)(10)以识别一个或更多个样品特征并提供更高分辨率的方法，所述方法包括：在所述SPM(10)的探针(14)与样品(22)相互作用时以第一分辨率(36)扫描所述样品(22)；收集响应于所述扫描步骤(22)的样品表面数据；和在收集所述样品表面数据期间，利用至少两个识别参数(38)，基于所述样品表面数据识别所述样品的包括所检测特征的子部；和自动在所述SPM(10)的探针(14)与所述样品(22)的所述子部相互作用时以第二分辨率(42)扫描所述样品的所述子部，所述第二分辨率高于所述第一分辨率。 | ||
| 地址 | 美国纽约 | ||