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发明名称 Means for vapor deposition of metals
摘要
申请公布号 US2812411(A) 申请公布日期 1957.11.05
申请号 US19550537663 申请日期 1955.09.30
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人 MOLES LESLIE
分类号 C23C14/26;H01L21/00 主分类号 C23C14/26
代理机构 代理人
主权项
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