磁性薄膜及其形成方法、磁性元件以及电感器和磁性元件的制造方法

摘要

本发明提供具有高共振频率，高频特性优异的磁性薄膜以及高频特性优异的磁性元件以及电感器。在衬底2上设置平面线圈4以及磁性薄膜1，在连接用端子J1，J2之间形成电感器。相对于衬底2的表面，沿着倾斜方向使磁性薄膜1中的倾斜生长磁性层11晶体生长成柱状(倾斜生长磁性体12)。在该倾斜生长磁性层11中，为了使倾斜生长磁性体12软磁化，向倾斜生长磁性体12混入绝缘体13。使得倾斜生长磁性层11显示出面内晶体磁各向异性，同时提高该面内晶体磁各向异性，增加各向异性磁场。能够只通过倾斜生长磁性层11的晶体生长方向来改变各向异性磁场Hk，从而增加各向异性磁场Hk，提高磁性薄膜1的共振频率fr而不降低饱和磁化强度4πMs。

主权项

一种磁性薄膜，其特征在于：具有含有绝缘材料和通过混入该绝缘材料而软磁化的磁性材料，形成于衬底上，且相对于叠层面沿着倾斜方向晶体生长成柱状的倾斜生长磁性层。