| 发明名称 | 用于检查和判定光掩模坯或其中间体的方法 | ||
| 摘要 | 公开了一种用于检查和判定光掩模坯或其中间体的方法。通过下述步骤来检查衬底上有膜的光掩模坯：(A)测量具有待检查应力的膜的光掩模坯的表面形貌，(B)从所述光掩模坯去除所述膜以提供经处理的衬底，(C)测量去除所述膜之后经处理的衬底的表面形貌，以及(D)比较光掩模坯或中间体的表面形貌和经处理的衬底的表面形貌，由此评估膜中的应力。 | ||
| 申请公布号 | CN101852983A | 申请公布日期 | 2010.10.06 |
| 申请号 | CN201010158156.4 | 申请日期 | 2010.03.31 |
| 申请人 | 信越化学工业株式会社 | 发明人 | 稻月判臣;金子英雄;吉川博树 |
| 分类号 | G03F1/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F1/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 高青 |
| 主权项 | 一种用于检查衬底上有膜的光掩模坯或其中间体的方法，包括下述步骤：(A)测量具有待检查应力的膜的光掩模坯或中间体的表面形貌，(B)从所述光掩模坯或中间体去除所述膜以提供经处理的衬底，(C)测量去除所述膜之后经处理的衬底的表面形貌，以及(D)比较膜去除之前光掩模坯或中间体的表面形貌和膜去除之后经处理的衬底的表面形貌，由此评估膜中的应力。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||