| 发明名称 |
Chuck, lithographic apparatus and device manufacturing method |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1391786(B1) |
申请公布日期 |
2010.10.06 |
| 申请号 |
EP20030255161 |
申请日期 |
2003.08.20 |
| 申请人 |
ASML NETHERLANDS B.V. |
发明人 |
HOEKS, MARTINUS HENDRICUS HENDRICUS;OTTENS, JOOST JEROEN |
| 分类号 |
H01L21/683;G03F7/20;H01L21/00;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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