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发明名称 EXTREME ULTRAVIOLET RADIATION SOURCE AND METHOD FOR PRODUCING EXTREME ULTRAVIOLET RADIATION
摘要
申请公布号 EP2236014(A1) 申请公布日期 2010.10.06
申请号 EP20080868996 申请日期 2008.12.19
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 SIDELNIKOV, YURII, VICTOROVITCH;BANINE, VALDIM, YEVGENYEVICH;KOSHELEV, KONSTANTIN, NIKOLAEVICH;FRIJNS, OLAV, WALDEMAR, VLADIMIR;KRIVTSUN, VLADIMIR, MIHAILOVITCH
分类号 H05G2/00 主分类号 H05G2/00
代理机构 代理人
主权项
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